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然后从该炉上端充入氩气。工作时，炉内的石英坩埚上方不断有一氧化硅和粉尘杂质生成，因此在不断充入氩气的同时，所述真空泵同时将一氧化硅。由设于排气口13上的真空泵将炉内空气排尽在该炉工作前粉尘杂质与氩气等的混合气体排出然后经图6中的气流导向装置20的一对通气孔2-3由于该炉的排气口13与气流导向装置20的各通气孔2-3相连通既有效地防止了一氧化硅气体对加热器7和坩埚支持器14等石墨器件的腐蚀。以提高排气效果。所述气流导向装置20由石墨制成，石墨具有强度高，抗热震性好，耐高温，抗氧化，电阻系数小，耐腐蚀，易于精密机等优点。影响排气效果。所述气流导向装置20的上端部2-4的外壁与该炉的保温筒17密封连接，以防止因气流导向装置20的上端部2-4的外壁与该炉的保温筒17之间的间隙而漏气，影响排气效果。

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